随着半导体行业发展,砷化镓、磷化铟等二代半导体化合物材料、氮化镓、碳化硅等三代宽禁带半导体材料,对于湿化学清洗工艺提出了新要求。在配置传统独立湿处理工艺槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry)的基础上,新材料清洗设备按照客户工艺菜单进行优化设置,配液精度、配液种类、清洗方式方面进行设计提升,同时保持与行业厂商、学校研究院所的积极联合探索和设备定制。
TIME: 2024-10-11有不同的独立湿处理工艺槽、按照客户工艺菜单的设置,机械手在各工艺槽中进行相应的工艺处理。适合用于基片批量的腐蚀/去胶/显影/清洗等工艺.
TIME: 2024-10-11自动供液系统可以通过VMB给多台设备进行供液。具有过滤、循环功能,根据用户要求配备双组或者多组过滤、循环系统;当其中一个桶内的液体用完时,能够自动进行双桶切换并且提示用户。同时还具备化学液的取样检测功能。
TIME: 2024-10-11该设备用于 LTCC、HTCC 和 MLCC 的加压作业,最 大压力80MPa,最大直径600,最小230
TIME: 2024-10-11全自动叠层机是用于生瓷片叠片的设备,具备自动上下料、自动切片、自动撕膜、自动对位、真空叠压等功能,广泛应用于LTCC、HTCC、MLCC等领域。
TIME: 2024-10-12该设备⽤于生瓷片的叠层,主要将生瓷片正确的堆叠 至多层,具备对位、自动叠层、自动加热、真空除泡等功 能,满足LTCC、HTCC、MLCC等叠片工艺需求。
TIME: 2024-10-11自动供液系统具有多方面的作用,具体如下: 1.正确控制供液量: 在工业生产中,可按照生产工艺的要求,正确地将液体输送到一定的位置,确保每个生产环节都能获得正确剂量的液体,从而保证生产过程的稳定性和产品质量。例如,在电子芯片制造过程中,需要正确控制各种化学试剂的供给量,自动供液系统可以正确地将这些化学试剂输送到生产线的特定位置,确保芯片制造的精度和质量。
温等静压机具有以下特点: 1.压力均匀性高: 工作时,将待处理的工件放入充满液体的封闭容器中,利用液体的不可压缩性和流动性,使压力均匀地传递到工件的各个表面,确保工件在各个方向上受到的压力相等。这种均匀的压力作用能够使成型后的工件密度均匀,内部结构紧密,提高了工件的质量和性能。例如,在陶瓷材料的成型过程中,温等静压机可以使陶瓷坯体的密度均匀性大大提高,减少了因密度不均匀导致的烧结变形、开裂等问题。
半自动叠层机具有以下特点: 1.操作模式部分自动化: 人力与机械配合:相较于纯手动叠层操作,半自动叠层机在部分操作流程上实现了机械自动化,例如在物料的传送、定位等环节可以依靠机械装置完成,但是在一些关键节点,如物料的初始放置、特殊情况的处理等方面,仍然需要人工干预。这种操作模式既提高了生产效率,又在一定程度上保证了操作的灵活性和正确性。