欢迎进入思恩半导体科技(苏州)有限公司 上海思恩装备科技股份有限公司官网!


您当前的位置首页 > 信息动态  > 行业动态 返回

真空烧结炉是什么

来源:www.ssntech.com  |  发布时间:2025年09月17日

      真空烧结炉是在负压(真空)环境中,对金属、陶瓷等物料进行高温加热(烧结)的工业设备,核心作用是通过真空隔绝空气,避免物料高温氧化、污染,同时正确控温,实现物料致密化与性能优化。
一、核心工作原理
      抽真空:用真空泵组(机械泵 + 罗茨泵等)将炉内空气抽出,维持低氧环境,阻止物料化学反应;
      温控烧结:通过石墨、钼丝等加热元件,按预设曲线升温(速率 1-50℃/min)、保温,让物料颗粒原子扩散结合,减少孔隙;
      可控降温:用水冷 / 气冷系统缓慢降温,避免物料开裂,充惰性气体恢复常压,取出成品。
二、关键特点
      防氧化防污染:真空环境大幅降低氧气浓度,保护钛、钨等易反应材料,保证成品纯度;
      去杂质提密度:高温真空能挥发物料中低沸点杂质(如油脂、残留黏结剂),提升成品致密度;
      温控正确:无空气对流干扰,温度均匀(温差≤±5℃),满足复杂材料工艺需求。
三、主要应用领域
      金属领域:制备硬质合金(刀具)、高温合金(航空发动机叶片),或对不锈钢、钛合金做真空热处理;
      陶瓷 / 复合材料领域:烧结氧化铝陶瓷(绝缘件)、碳 - 碳复合材料(航天器热防护层);
      其他领域:半导体芯片封装基板、锂电池正极材料、燃料电池双极板的制备。