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IPA雾化干燥机是什么

来源：www.ssntech.com | 发布时间：2025年03月05日

IPA 雾化干燥机是一种主要应用于晶圆加工等领域的干燥设备，利用异丙醇（IPA）的特性来实现干燥功能，以下是具体介绍：
1.工作原理：采用加热异丙醇形成气雾，与惰性气体一起对晶圆表面的水分子进行吸附，再通过加热使得异丙醇挥发，从而实现对晶圆的清理干燥。在干燥时，首先晶圆处于被夹持的静止状态，IPA 雾化剂喷射到晶圆的表面，由于 IPA 雾化剂具有较强的高分子作用力，IPA 雾化剂能进入到晶圆表面的微孔中，将其中的水分带出，进而达到干燥的目的。
2.技术优势：相比于传统的如甩干与慢提拉等晶圆干燥技术，IPA 雾化干燥技术能够有效避免晶圆破碎的问题发生，对晶圆起到更好的保护作用，提高晶圆加工的良品率。

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