全自动酸/碱减薄制绒设备 Automatic Acid/Alkaline Etching and Texturing System
PSG刻蚀湿处理设备 Automatic PSG Etching and Cleaning System
石英炉管湿处理设备 Quartz Tube Clean System
化学供液及分配系统 Chemical Delivery System (CDS and VMB)
全自动硅块刻蚀湿处理设备 Automatic Silicon Chunk Etching/Clean System
全自动硅棒刻蚀湿处理设备 Automatic Silicon Rods Etching/Clean System
石墨件湿处理设备 Graphite Fixtures Clean System
晶棒料破碎台 Silicon Robs Materials Break up Table
